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1楼 2012-10-16 15:38:02

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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

引用回帖:

25楼: Originally posted by wxlwww123 at 2012-10-17 15:34:17
做了XRD的，肯定是有差别的嘛！si衬底上的晶粒才几十到100个nm而这个块状晶粒都有几百个nm，真是搞不明白怎么会长那么大，而周围不明显的晶粒却又很小。...

那就是只有峰强度的差别了？还是先对比着用两种衬底同时重复一下吧，如果重复实验还是这样，我想可能有以下原因：
1.同样方法涂10层在Si和玻璃衬底上最终膜厚还是会有差别（溶胶与衬底浸润性不一致造成的），厚度在籽晶以下晶粒不会明显发育和长大，厚度越过籽晶层之后，随厚度的增加ZnO会出现择优取向甚至某些经历异常长大
2.干燥温度太高时间太长，ZnO很容易结晶，干燥温度太高会造成有机物分解过快从而引起膜内局部的不均匀，最后导致退火后的膜有晶粒异常长大
3.退火条件，如果干燥不充分，在不适合的退火工艺下也可能发生这样的现象
这都是一些推测，因为信息量太少，不好分析，也可能都是错的，但是前面有人说到玻璃表面活化什么的，我认为可以忽视