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hks1976

木虫 (正式写手)

[求助] ITO膜热处理后面电阻上升的原因分析?

利用溅镀的ITO热处理的时候发现其面电阻会随热处理温度发生变化,热处理温度高时,其面电阻增大。这是为什么?
请高手帮忙解释解释,最好附文献出处。
其解决的办法是什么?

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windstory

捐助贵宾 (著名写手)

【答案】应助回帖

ITO层由很多细小的晶粒组成,晶粒在加温过程中会裂变变小,从而增加更多晶界,电子突破晶界时会损耗一定的能量,所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高,电阻也增大。
2楼2011-08-24 00:22:49
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