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银虫 (正式写手)

[求助] 碳纳米管阵列求教

希望有经验的虫友能够分析一下碳管阵列不能生长的原因，如何减轻铁颗粒的团聚，较适合的气体比例大概在什么范围？虽然我做的确实不堪入目：CH4/H2/Ar：50/25/25，温度950℃，CVD管径2.2cm，有好的答案会追加金币，在线等

950℃下，铁纳米颗粒出现了团聚，用什么方法能够减轻？

知识的价值在于为创造想象，为我所用

1楼 2012-10-12 21:39:09

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银虫 (正式写手)

引用回帖:

3楼: Originally posted by 我叫棉花糖 at 2013-10-20 11:02:22
你是磁控溅射铁吗？不像，是溶胶？你要给出基板的参数才能看出问题，不像是气的事

对，是磁控溅射退火后的形貌。基板是抛光清洗后的硅片，镀膜过程中没有对基板进行加热处理。

知识的价值在于为创造想象，为我所用

4楼2013-10-21 09:30:24

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