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nihility银虫 (初入文坛)
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[求助]
请问一个关于热蒸镀中晶振测厚仪的问题。
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热蒸发镀膜时，当沉积速率调到一定值时，假设晶振示数为1，但打开挡板后，示数会跳到1.3-1.5左右，请问这可能是什么原因？ 气压到负四帕，晶振是日本的ulvac crtm 8000，比较靠谱的。 谢谢各位大侠。 |
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