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nihility

银虫 (初入文坛)

[求助] 请问一个关于热蒸镀中晶振测厚仪的问题。

热蒸发镀膜时，当沉积速率调到一定值时，假设晶振示数为1，但打开挡板后，示数会跳到1.3-1.5左右，请问这可能是什么原因？
气压到负四帕，晶振是日本的ulvac crtm 8000，比较靠谱的。
谢谢各位大侠。
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1楼 2012-10-09 09:34:09
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