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mgrainer

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1楼 2012-10-07 16:42:05

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qiukangwen

银虫 (小有名气)

应助: 4 (幼儿园)
金币: 539.5
散金: 66
帖子: 148
在线: 66.1小时
虫号: 2001134
注册: 2012-09-14
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

我做的二氧化钛薄膜也有过这样的情况。检查一下衬底，注意环境湿度，还有温度也得把握好

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专心搞科研

6楼2012-10-09 15:31:12

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查看全部 7 个回答

一片儿陶客

金虫 (小有名气)

应助: 8 (幼儿园)
金币: 1128.1
散金: 24
红花: 1
帖子: 168
在线: 218.8小时
虫号: 1000929
注册: 2010-04-19
性别: GG
专业: 光学

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wbcui: 金币+3, 应助指数+1, 多谢应助，希望对楼主有帮助 2012-10-07 18:59:09

薄膜开裂原因挺多的，鉴于你是重复前面的工艺，所以，影响开裂的因素会减少。
从你给出的描述中，我想你可以检查一下衬底，也就是两次所使用的衬底是否相同。

如果你的衬底完全相同，仅仅是甩胶层数不同的话，这就值得仔细研究一下。
看看是不是由于，薄膜他过于薄

或者看看你的前驱液，因为影响整个结果最重要的因素，就是前驱液

不知到是否可以帮到你

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铁电新人

2楼2012-10-07 18:27:58

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