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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
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zpawl

铜虫 (小有名气)
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9楼: Originally posted by leongoall at 2012-10-09 20:19:25
如果我没有理解错的话，靶材本身就带有磁性，对吗？这个时候靶材本身的磁性就会对磁控溅射靶上面的磁场位型产生影响。正常来说，磁控溅射靶上面的磁场应该是一个会切场，可以让电子回转与溅射气体原子碰撞进而撞击 ...

目前只有磁控溅射的设备。。。
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11楼2012-10-10 15:25:04
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zpawl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by zwy198759 at 2012-10-09 21:30:33
你在买靶材的时候就要注意，比如铁啊什么的很容易被磁化，就溅射不上，因为铁被磁化了产生磁场把靶的磁场给屏蔽了。我们这么做磁性靶材的溅射，都是把靶材利用线切割（最好是活泼的金属，不然腐蚀起来很慢，半天也 ...

那你们目前是能溅射出来的么？
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12楼2012-10-10 15:26:06
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