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真空镀膜：Vecoo机Hf靶材吸收疑问
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跪问大家有谁对真空镀膜技术：Vecoo机镀膜时Hf靶材吸收方面有做过研究吗？我们在做吸收实验时，发现Hf靶材吸收很大，这个问题一直解决不了。我们也做了很多O2和N2的流量实验，找不到KPIV（Key Point）。本人悬赏大量金币，只要有信息就赠送BB。还望有相关经验的专家和前辈指点，比如有文献或者资料能否发到邮箱njb1028@yahoo.com.cn，本人将不甚感激。 1.JPG |
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