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牵手的画面银虫 (小有名气)
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化学蚀刻法
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mowenlongch
木虫 (正式写手)
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【答案】应助回帖
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pzypdl: 金币+2, 专家考核, 谢谢回帖交流 2012-11-08 00:48:04
pzypdl: 金币+2, 专家考核, 谢谢回帖交流 2012-11-08 00:48:04
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提供参考： 由于XPS分析的表面敏感性，为了得到真实表面成分，通常利用氩离子刻蚀（氩刻）来做表面清洁处理，除去表面上吸附的污染原子。视情况还可能需要退火处理。氩刻条件通常是使用1KeV左右能量的离子进行轰击，样品越脏，或者污染元素在表面结合的越牢固，可以提高能量和离子流。氩刻对样品造成的可能影响，一是增加表面的粗糙度（对单晶样品要考虑这个影响），二是氩刻对元素也具有一定的选择性，导致表面元素分布发生一定的变化。对于高精度的表面成分分析需要考虑这个影响，通过选择合适的氩刻条件尽量降低这种影响。 |
3楼2012-11-07 22:01:28
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