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changge87

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 单根硅纳米线欧姆接触电极的制备方法。北京哪里可以做?多少钱?

最近想做单根硅纳米线的器件,实验室以前没人做,没条件,所以只能用银胶涂。得到的U-I曲线具有很明显的二极管效应。现在想做欧姆接触。
    请问应该如何做硅纳米线的欧姆接触电极呢?
    北京哪里可以做?大概得多少钱?
    纳米线表面的二氧化硅层要用什么方法去掉呢?我用过HF处理,结果往往会留下一些残渣在纳米线表面。
    谢谢啦!
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
目前最可行的方法是用电子束光刻,如果算成本,一个器件,氧化的硅片,SEM寻址,电子束曝光,lift-off,不知道多少钱,工业界是没人跟你玩的,研究所有此条件不多,实验方法已经成熟,读几篇文章就知道了

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2012-08-31 22:36:03
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
清华大学富士康纳米中心的范院士组里,还有中科院半导体所也有这方面的工作开展;

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3楼2012-08-31 23:54:45
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changge87

铁杆木虫 (正式写手)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by quanten at 2012-08-31 22:36:03
目前最可行的方法是用电子束光刻,如果算成本,一个器件,氧化的硅片,SEM寻址,电子束曝光,lift-off,不知道多少钱,工业界是没人跟你玩的,研究所有此条件不多,实验方法已经成熟,读几篇文章就知道了

恩,谢谢啦!大体制备方法我从文献中看到过,只是希望做过的人证实下真正的做法是不是这样的。
其实最关心的还是哪里可以做。
4楼2012-09-01 18:43:19
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changge87

铁杆木虫 (正式写手)

送鲜花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by mosleo at 2012-08-31 23:54:45
清华大学富士康纳米中心的范院士组里,还有中科院半导体所也有这方面的工作开展;

好的,谢谢啦!我也从网上查到半导体所可以做,打算下周练习一下呢!
5楼2012-09-01 18:44:00
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走肖言成

新虫 (小有名气)

6楼2017-11-29 16:20:39
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