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求助 三--五族 氮化物(ZnO、GaN、AlN等)LED 电极生长,EL测试问题
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[
求助
]
求助 三--五族 氮化物(ZnO、GaN、AlN等)LED 电极生长,EL测试问题
我做的是AlN/Si的PN结,上面用小型离子束溅射Au电极,没有加热功能,测试发光时怎么也得不到表面的发光,是不是做金属电极必须要加热,才会得到好的接触?欢迎用金属电极做发光材料的虫友们给予指导~~~
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1楼
2012-08-30 00:12:55
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自己给自己顶一下~希望大家都来谈谈自己的经验看法~~
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2楼
2012-08-30 10:08:08
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4楼
:
Originally posted by
seaxiaomuch
at 2012-08-31 10:44:57
我的经验是 不加热 也可以得到好的接触. 用单纯的蒸着都可以做得到.
谢谢您给的指点!~~请问您做的是什么电极?蒸着需要用啥仪器呀?有没有什么要求?多谢~~
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5楼
2012-08-31 11:16:32
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3楼
:
Originally posted by
蒋青松
at 2012-08-31 07:46:14
帮你顶一下吧··········
多谢支持!送鲜花一朵!
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木虫精神
7楼
2012-08-31 14:43:30
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6楼
:
Originally posted by
dzcl11
at 2012-08-31 13:12:15
镀电极用电子束热蒸发、磁控溅射都可以的
哦~谢谢你哦~再请问你一般真空抽多少?镀的过程加热吗?我用离子束溅射,没加热,真空才抽到4.0E-2Pa,我们只有一个很薄的金片子,没有磁控上面用的靶材~呜呜……
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9楼
2012-09-08 20:16:43
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8楼
:
Originally posted by
nanohappyyou
at 2012-08-31 16:43:56
你这PN结做的够好?
PN结感觉做得挺好的,是测试IV时,加正向偏压居然是反向导通,Si的一面镀电极是欧姆接触,所以怀疑是Au电极这一面接触不好,形成很高的势垒造成的,也只是怀疑,不敢确定,还请您不吝指导,给我指点迷津~~
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木虫精神
10楼
2012-09-08 20:25:26
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