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蚀刻法测量硅碳氧薄膜厚度，配制什么溶液？？？急急急……
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想用蚀刻法测量硅碳氧薄膜厚度，配制的1~3%的HF溶液，结果未检测到腐蚀效果。 那位大侠做过硅碳氧薄膜的腐蚀，求教一下用什么试剂来腐蚀？最好有配比公式，腐蚀时间等  |
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