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请问，氧等离子体刻蚀石墨烯的参数
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| 如题，我想在二氧化硅衬底上做石墨烯FET，首先要在石墨烯上刻蚀出来有源区，老板让用氧等离子体刻蚀，我想知道具体的参数是多少？时间紧迫，谢谢各位了。 |
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