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hongloumeng

[交流] 求助:XRD的问题

请问各位老师同学:
    我是作薄膜的。最近用磁控溅射的方法制备了一批薄膜,测试XRD发现,薄膜的主峰比靶材的右移了0.5度,是同一种物质,没有反应溅射啊,但是退过火也不是反应的,请问原因。谢谢
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lxacer

新虫 (初入文坛)

可能和薄膜的内应力有关,导致了晶格常数的减小,从而发生右移。
2楼2007-05-30 16:34:53
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