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银虫 (小有名气)

[交流] 电极制备

目前在测试La0.7Ca0.3MnO3薄膜的电阻率,光刻成六端Hall bar形状,电极是用In直接压在薄膜上,然后氮气气氛下退火20秒。在室温下电极电阻的对称性还是很好的,即13,15,24,26端之间的电阻非常接近,但是到了低温下,大概就120K左右的时候,差别非常明显,而且最奇怪的是在12间通正向电流,34,56间都测出负电压。我觉得这应该是电极制备引起的问题,不知道有没有虫友也遇到过这种问题,是怎么解决的,怎样才能保证电极的质量?请赐教。




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