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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 关于薄膜厚度均匀度公式
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黑木凯

金虫 (正式写手)

[求助] 关于薄膜厚度均匀度公式

手上有10个点的厚度测量值，想算下薄膜的厚度均匀度。在网上查了很久，没有结果。查过一个木板的厚度不均匀值（晕！）说是（最大值减去最小值）除以公称厚度，总觉得有点不对劲。。。。请教各位搞膜技术的兄弟姐妹们给个确切的公式，谢谢！
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吃货一个啊
1楼 2012-08-10 11:00:53
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黑木凯

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by x33526 at 2012-08-12 17:41:27
http://www.chemshow.cn/UploadFile/datum/1007/bqdz_201067222354802258.pdf

真空镀膜膜层厚度均匀性计算与工件架的设计

第一个是仪器，用不上；
第2个是论文，有点不清楚，我手头上已经有一些点的厚度数据，现在就是要求均匀度，需要那么复杂吗？
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吃货一个啊
3楼2012-08-12 18:18:45
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x33526

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
http://www.chemshow.cn/UploadFil ... 067222354802258.pdf

真空镀膜膜层厚度均匀性计算与工件架的设计
赞一下 回复此楼
好好来
2楼2012-08-12 17:41:27
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