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xycqy

铜虫 (初入文坛)

[求助] 利用SRIM如何计算dpa呢,急求!

不知道有没有使用SRIM的大侠,请问如何用SRIM计算dpa,提供正确答案者,一定重重感谢!
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neozpy

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

xiegangmai: 非应助请勿选择“应助回帖” 2013-01-24 19:46:37
如何用SRIM计算得到的RANGE文件得出注入离子的中剂量?
其中所得到的ion distribution图中的纵坐标的单位是(Atoms/cm3)/(Atoms/cm2)是什么意思,如何由它和掺杂浓度得出所需的注入离子的总剂量?
谢谢!
闻道有先后,术业有专攻。
3楼2013-01-23 14:24:09
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