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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 如何检测清洗后的基片适合合格？
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phywyong

铜虫 (小有名气)

[交流] 如何检测清洗后的基片适合合格？

弱弱的问一个问题，大家有清洗过的硅基片的没有？清洗完后怎么检测清洗后的硅片是否达到镀膜的标准。有什么检测的设备没有？Sample TextSample Text
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1楼 2012-07-31 18:32:50
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xuhaojames

金虫 (正式写手)
★
phywyong(金币+1): 谢谢参与
看你第一层如何处理了
如果第一层做的材料为亲水性的,表面清理后还残留薄薄一层水就很好
如果第一层做疏水材料,一般清洗后以不残留水珠为好
干净不干净用肉眼或显微镜都可以观察
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11楼2012-09-08 17:05:24
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)
★
phywyong(金币+1): 谢谢参与
帮顶·········
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5楼2012-08-02 07:45:48
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
phywyong(金币+1): 谢谢参与
你想要达到什么标准？粗糙度的话做一下AFM，清洁度的话做SEM看上面有没有脏东西就OK
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6楼2012-08-02 21:39:19
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weibaobao

木虫 (著名写手)
★
phywyong(金币+1): 谢谢参与
现在也是怀疑玻璃没有清洗干净，旋涂的那个膜丑的不行
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7楼2012-08-09 15:13:26
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