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zhang_ki

铜虫 (初入文坛)

[求助] TaN腐蚀

薄膜电阻TaN(氮化钽)可以采用何种腐蚀也进行腐蚀

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liu2004m

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【答案】应助回帖

HF/ HNO3/H2O和NH4OH/H2O2溶液都可有效地腐蚀TaN
2楼2012-07-31 10:26:55
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zhang_ki

铜虫 (初入文坛)

还想请教一下Ni的腐蚀一般采用何种腐蚀液
3楼2012-07-31 18:12:41
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