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yangchengxu银虫 (小有名气)
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直流溅射ITO的稳定压强是多少？
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直流溅射ITO靶时，溅射功率是40W，溅射气体是氩气，溅射压强是0.5Pa。可是，在前3次试验中，ITO都能辉光放电；在接下来的5次正式实验中，ITO都出现了中断放电现象。请问，这是怎么回事？在多少压强下，溅射ITO靶能够稳定？怎么样才能使溅射ITO正常？ [ Last edited by yangchengxu on 2012-7-25 at 23:16 ] |
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