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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 簿膜问题
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dashan_612

木虫 (正式写手)

[交流] 簿膜问题

磁控溅射镀膜，如果作掺杂，靶中的杂质元素的含量是多少为合适！
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1楼 2007-05-16 19:09:10
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diamondfire

木虫 (正式写手)
掺杂可以采用在原来的靶材上面均匀贴上几块你要掺杂的元素的靶材。
不同元素的溅射效率有差别，不能一概而论，最好查查文献看看。
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再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。
2楼2007-05-16 19:50:22
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lindascut

银虫 (小有名气)
也可以在原来的靶材上凿个孔，将要掺杂的元素的材料夯实在原靶材中。
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3楼2007-05-16 20:25:20
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dashan_612

木虫 (正式写手)

簿膜

非常感谢你的帮助！
掺杂可以采用在原来的靶材上面均匀贴上几块你要掺杂的元素的靶材？还是制作靶时直接做成掺杂的靶？
不同元素的溅射效率有差别，这个问题我也明白，正是利用这个可以调节样品中杂质的比率。
文献中都没有盖出具体的含量和实验细节。
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4楼2007-05-16 20:27:51
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