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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 铝靶氧化如何解决
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)

[求助] 铝靶氧化如何解决

求助：直流磁控溅射用铝靶镀膜，铝靶材长时间没有用，装上后无法溅射。具体表现为加电压至两百多伏后电源直接断开，怀疑是靶面氧化了。请问如何解决？
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1楼 2012-07-20 21:53:36
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temeney1

新虫 (初入文坛)
将表面处理一下试试
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2楼2012-07-25 19:28:04
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by temeney1 at 2012-07-25 19:28:04
将表面处理一下试试

已解决，谢谢
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3楼2012-07-25 22:16:29
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