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铝靶氧化如何解决
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| 求助：直流磁控溅射用铝靶镀膜，铝靶材长时间没有用，装上后无法溅射。具体表现为加电压至两百多伏后电源直接断开，怀疑是靶面氧化了。请问如何解决？ |
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