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hanreil

铁虫 (初入文坛)

[求助] 在陶瓷基片上制备TiO2薄膜的问题

我现在正陶瓷基片上制备二氧化钛薄膜,目前用的是溶胶凝胶法,浸涂和喷涂都用了,做出来之后怎么XRD测不出TiO2衍射峰?还有就是薄膜的与基片的结合力十分差,退火后用手指就可以擦去。
我本人不是学物理专业的,不懂陶瓷和物理的东西。请高人指点下 这是为为什么呢?我猜测是不是因为陶瓷基片的晶型的原因导致衍射峰出不来
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
hanreil: 金币+1, ★★★很有帮助 2012-07-12 10:27:14
如果你能提供下面的信息,可能非常有帮助
1  旋涂的话,Ti源是什么?溶剂是什么?溶液浓度是多少?有多少层了?退火温度是多少?因为我没做过喷涂,所以对于喷涂不好说什么。
2  附着力的问题 退火前会那样吗?
2楼2012-07-11 22:52:31
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woshiniu

禁虫 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

3楼2012-07-11 23:21:04
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hanreil

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-07-11 22:52:31
如果你能提供下面的信息,可能非常有帮助
1  旋涂的话,Ti源是什么?溶剂是什么?溶液浓度是多少?有多少层了?退火温度是多少?因为我没做过喷涂,所以对于喷涂不好说什么。
2  附着力的问题 退火前会那样吗?

钛源是钛酸四丁酯,溶剂是乙醇。我也不清粗浓度是多少,我是按找文献中的方法制备的。就一层薄膜。退货的温度是400度。
4楼2012-07-12 10:27:00
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wu1008

金虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by hanreil at 2012-07-12 10:27:00
钛源是钛酸四丁酯,溶剂是乙醇。我也不清粗浓度是多少,我是按找文献中的方法制备的。就一层薄膜。退货的温度是400度。...

我们一般用乙二醇甲醚作溶剂
你是做生物材料那一类的吧,我不知道乙二醇甲醚对你们有什么影响,但一般来说,你用乙醇能配成溶液,就应该问题不大

你自己配的溶液怎么会不知道浓度呢????

400度这个温度可能还没结晶好,可能需要更高一点的退火温度

一层太薄了,测不出XRD的。如果你真的只需要一层的话,可能需要测拉曼判断结晶情况
5楼2012-07-12 10:45:09
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woshiniu

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

6楼2012-07-12 22:22:33
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