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电子探针显微分析方法.PPT
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EPMA定义 EPMA（Electron Probe MicroAnalysis），是电子探针显微分析技术，利用聚焦电子束与试样微米至亚微米尺度的区域相互作用，用X射线谱仪对电子激发体积内的元素进行分析的技术。 电子探针仪：EPMA(Electron Probe MicroAnalyzer) (electron probe) 一种电子束显微分析的仪器，是通过电子束激发试样微区产生的二次电子、背散射电子、及X射线等信息，进行试样表面形貌观察及成分分析。成分分析主要用波谱仪（WDS)，也可以用能谱仪（EDS)。其配置应包括一个能将电子束聚焦成微米、亚微米尺度的电子光学系统（镜筒）。一台对试样位置进行观测和精密定位的光学显微镜和一套波谱仪， 也可以附加一套能谱仪。其电子光学系统应包括电子束扫描系统以及一个或多个电子探测器，以便具有扫描电镜的成像功能。 EPMA、SEM区别 EPMA：用于成分分析、形貌观察，以成分分析为主。主要用WDS进行元素成分分析、检出角大、附有光学显微镜（OM），可以准确定位工作距离(物镜极靴下表面与试样表面之间的距离)、束流大、稳定（10-3/h)，所以定量结果准确度高,检测极限低。 缺点：真空腔体大，成分分析束流大，所以电子光路、光阑等易污染，图像质量不如SEM，EPMA二次电子像分辨率为3nm(场发射）、5nm(LaB6)、6nm（W灯丝）。 SEM：用于形貌观察、成分分析（一般用EDS分析），以形貌观察为主,束流稳定度为10-2/h左右，大量数据测量时稳定时间不能满足要求。图像分辨率高，FESEM:0.4~1nm；W灯丝SEM：3nm EPMA比SEM价格贵几倍。 EPMA/SEM-EDS的特点 EPMA、SEM-EDS是应用最广泛的仪器，EDS几乎成了EPMA、SEM的标配。现在许多SEM还配备了WDS。 EPMA、SEM-EDS的仪器构造、成像原理、分析原理、 WDS及EDS定量修正过程都相同，虽然功能、特点不完全相同。 EPMA成分分析时电流大；检出角大；有能精确定位分析点的OM；WDS的波长分辨率及检测极限均优于EDS。现在成分定量分析要求较高的材料科学、冶金、地质等领域一般都配备了EPMA。意大利警方配备WDS前，分析结果经常被黑手党的WDS分析结果推翻，现在意大利警方都同时配备了EDS和WDS。 即使现在SEM配备了WDS ，成分定量分析结果一般也不如EPMA, SEM-EDS 下面是几个介绍EPMA分析方法的入门教程，与大家共享。 [ Last edited by linjie137 on 2012-7-3 at 15:24 ] |
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2012-07-03 13:21:15, 239 K
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