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haode22

金虫 (正式写手)

[求助] 几何电化学

刻蚀硅过程中初始孔形状不同，造成刻蚀的大孔形状有差别，查了一本书说是和孔的曲率有关。

好像有个叫“几何电化学”可解释，但是查文献几天了都没找到，有没有高手指导一下啊，最好是有相关的文献。谢谢！
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逐渐成为工作狂，技术狂.............
1楼 2012-06-21 09:53:31
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