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几何电化学
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刻蚀硅过程中初始孔形状不同，造成刻蚀的大孔形状有差别，查了一本书说是和孔的曲率有关。 好像有个叫“几何电化学”可解释，但是查文献几天了都没找到，有没有高手指导一下啊，最好是有相关的文献。谢谢！ |
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