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防静电在电子产品生产过程中的重要性
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随着电子元器件技术的发展,静电对元器件应用造成的危害越来越明显。 一方面,电子元器件不断向轻、薄、短、小、高密度、多功能等方向发展,因而元器件的尺寸越来越小,尤其是微电子器件,CMOS IC中亚微米栅已进入实用化,栅条宽度达到0.18um,栅氧厚度为几个nm或几十个Å,栅氧的击穿电压小于20V。尺寸的减小,就使电子元器件对静电变得更加敏感。而大量新发展起来的特种器件如GaAs 单片集成电路(MMIC)、新型的纳米器件以及高频声表面波器件(SAW)等多数也都是静电敏感元器件;另一方面,在电子元器件制造和应用环境中,作为静电主要来源的各种高分子材料被广泛采用,使得静电的产生更加容易和广泛。因此,必须应用各种抗静电放电损伤的技术,使静电对电子元器件的危害减小到最低的程度。 附件是3M公司的防经典手册供各位虫子参考,很有用的. |
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