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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 请问北京哪里可以做硅片的减薄和化学机械抛光？
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8627lyp

木虫 (正式写手)

[求助] 请问北京哪里可以做硅片的减薄和化学机械抛光？

如题。硅的外延片在氧化工艺结束后做减薄抛光。

[ Last edited by 8627lyp on 2012-6-20 at 11:59 ]
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1楼 2012-06-18 15:12:50
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
8627lyp: 金币+5 2012-09-20 13:32:57
这要看你需要减薄抛光到什么水平了，建议送到上海微系统所做，他们有一个专门的公司接这活儿，设备很好。
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2楼2012-09-19 13:58:29
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8627lyp

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-19 13:58:29
这要看你需要减薄抛光到什么水平了，建议送到上海微系统所做，他们有一个专门的公司接这活儿，设备很好。

谢谢~请问有具体的联系方式或者那个公司么？
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3楼2012-09-20 13:33:46
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