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【项目申请书】国家973：光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究
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国家973：光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究 项目名称： 光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究 首席科学家： 段宣明 中国科学院理化技术研究所 起止年限： 2010年1月-2014年8月 依托部门： 中国科学院 本项目设置以下4个研究课题： 课题一：光子束超衍射纳米加工基本原理基础研究 课题二：无掩模纳米光刻机理、关键技术、工艺创新与应用基础研究 课题三：多光子纳米加工机理、关键技术、工艺创新与应用基础研究 课题四：纳米器件制备工艺创新与应用基础研究  [ Last edited by zhaoyuan0426 on 2012-6-20 at 16:50 ] |
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本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：libolin3@tal.com - 附件 1 : 2010CB934100-光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究.doc
- 附件 2 : 08kz0002.pdf
- 附件 3 : 08-04-SZB-AM.pdf
- 附件 4 : 07-14(DXZ-APL-1).pdf
2012-06-17 17:22:41, 296.5 K
2012-06-20 16:48:49, 3.42 M
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