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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 硅片抛光
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飞凫

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片抛光

我现在有一些多晶硅的样品，准备做光伏方面的器件，但样品双面都没有抛光的。现在想要拿去给加工平台让别人帮我做单面抛光处理，但他们让我给出样品抛光的要求（参数），可我不清楚应该给出怎样的参数？想请教下大家，谢谢！
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1楼 2012-06-12 23:02:26
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jinxiyu

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
lchpy: 金币+1, thanks for your information~ 2012-06-13 09:00:10
抛光的参数主要有：总厚度变化（TTV）、平整度（TIR）、弯曲度、翘曲度
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2楼2012-06-13 08:36:38
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飞凫

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jinxiyu at 2012-06-13 08:36:38
抛光的参数主要有：总厚度变化（TTV）、平整度（TIR）、弯曲度、翘曲度

但平常厂家直接出售那些抛光硅片这些参数一般是多少啊？
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3楼2012-06-13 09:05:36
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