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dizzy1011

新虫 (初入文坛)

[求助] 大家好,问一个关于PMMA溶解的问题。 已有2人参与

我要在硅片表面做PMMA溶液的图案化。。

现在PMMA溶液的制备出现了点问题。。

我用的PMMA是996K的。。

在冬天的时候 做这个实验不会有任何问题。。

但是夏天到了,这个实验就从来没重复出来过。

PMMA溶液总有小颗粒和絮状物在里面,我不知道是出了什么问题,想的办法都想过了。。

溶剂也换过,氯苯,二氯苯、三氯苯,氯仿,甲苯都试过 ,都是不成 。

实验室开了除湿机,配溶液的瓶子也都用烘箱烘过,甚至PMMA的固体也在真空里加热处理过,应该不会存在水汽了杂质了。。

不知道为何还是溶解不了,还请大家交流一下。

我是用加热搅拌的方式制备溶液的,。

需要指出的是,同样的PMMA,没有更换过,在冬天可以,甚至4月份还可以,就是从5月中旬到6月份,就没重复出来了。。

很是奇怪。。而且各种分子量的PMMA都试过了,120k 350k 540k 都试过了,也不行。溶液里很多小颗粒。

相反,PS 140k的就可以进行图案化。。

大伙帮帮我吧。。
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wlctcl

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是不是残留的引发剂在这个温度下使PMMA交联了呢
以前做pe接枝时就经常出现过段时间后不能全溶解,光照也会引发交联
梦想着有一天能摘下一颗天上的星星
12楼2012-06-14 13:59:31
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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zznjut: 金币+1, 欢迎交流 2012-06-13 14:13:42
天,你这是写诗呢?有时换行又是行间距这么大的。。。
会不会是分子量太大了,浓度多少呢?
和温度还有关系,温度比较关键。。。
1、可以先别搅拌,先溶胀一段时间再搅拌。。。
2、可以配稀点的浓度。。。
3楼2012-06-12 15:38:53
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ycj9592

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
啊呀,我对这个没有经验啊,请同行来解吧
4楼2012-06-12 16:54:40
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dizzy1011

新虫 (初入文坛)

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3?: Originally posted by vmuch520 at 2012-06-12 15:38:53
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5楼2012-06-13 13:34:42
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