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li_zhao1027新虫 (初入文坛)
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请教制备陶瓷靶材的问题
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请教制备陶瓷靶材的问题 目前pld方法制备薄膜，需要制备40mm直径的靶材，采用油压机压制过程中 试过压力10－20MPa，压出的靶都有裂纹，影响使用，因为经验不多， 请教板上各位能人，有什么方法可以避免出现裂纹呢 |
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