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用苯为原料气体CVD制作类金刚石薄膜,苯蒸汽怎么生成?
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周小龙
木虫
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注册: 2009-12-23
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专业: 无机非金属类光电信息与功
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用苯为原料气体CVD制作类金刚石薄膜,苯蒸汽怎么生成?
用苯为原料,CVD方法制作类金刚石薄膜,苯蒸汽怎么发生!
一说是要在膜合成过程开始前把盛有苯的容器以及从苯出来一直到反应室的管道加热,是苯汽化,但是实验还要控制压力,这样反应室内负压,横用以倒吸吗不??
跪 求 其他安全可行方案!!!
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1楼
2012-06-04 14:16:04
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性别: GG
专业: 结构陶瓷
金币太少了。。。
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锂电深似海,松下就是坑!
2楼
2012-06-04 18:08:17
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