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xt1987818

新虫 (小有名气)

[求助] 怎么去除单晶硅背面的氮化硅呀?跪求,急!

在电化学刻蚀制备多孔硅时,硅片背面的氮化硅不知道怎么去除(氮化硅不导电欲去除)?麻烦各位了!
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wdzwyj

木虫 (小有名气)

rie刻蚀
2楼2015-08-07 17:12:13
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