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yuyuming

铜虫 (小有名气)

[求助] 退火 碳

二醇甲醚溶解硝酸镓、硝酸锌、硝酸铟,然后加入乙醇胺加热到60度一个小时形成螯合物。做的溶液配好了,然后甩在硅片上,退火后对薄膜表面成分检测发现有5%-6%的碳。退火温度是400度,预想是有机溶剂什么的都给蒸发掉或者燃烧掉,因为会影响薄膜电学性质。但不知道为啥还有碳?
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jiagle

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
fds329: 金币+2, 应助指数+1, 感谢应助。辛苦了O(∩_∩)O 2013-01-18 08:19:13
就算是氧化性气氛下退火,仍然可能含有一定的碳;
这是因为含有OH和NH2之类的有机物,在升温时,如果(1)沸点高或是(2)因为形成凝胶被封在孔道中,或是(3)因为升温速率太快,都有可能脱水碳化;
碳化后形成的是石墨质的碳,需要在500度左右才可能被空气中的氧气氧化(如果它是裸露在外的话)。
根据你的实验条件,自己可以判断原因。
3楼2013-01-16 11:57:40
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weibaobao

木虫 (著名写手)

打酱油

【答案】应助回帖


fds329: 金币+1, 应助指数+1, 感谢回帖 2013-01-18 08:19:05
估计你是在惰性气氛下吧,肯定有碳了,乙二醇甲醚60度是没法烘干蒸发的,就更不用说乙醇胺了,烧了都是碳
邮箱weixiang_hong@163.com;qq:617237251
2楼2013-01-15 13:05:56
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