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退火 碳
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| 二醇甲醚溶解硝酸镓、硝酸锌、硝酸铟，然后加入乙醇胺加热到60度一个小时形成螯合物。做的溶液配好了，然后甩在硅片上，退火后对薄膜表面成分检测发现有5%-6%的碳。退火温度是400度，预想是有机溶剂什么的都给蒸发掉或者燃烧掉，因为会影响薄膜电学性质。但不知道为啥还有碳？ |
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