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foxs2
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Mo、Au、Ag、Al、Cu薄膜制备
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我室为专门的薄膜加工制备与研究的实验室,拥有多台大型磁控溅射、电子束蒸镀、LPCVD设备,可对外提供镀膜加工服务。 其中,可镀的电极薄膜有Mo、Au、Ag、Al、Cu,厚度一般在15~500nm。1.1毫米玻璃片、<100>硅片基底我方可提供,若选其他基底请自备。 赵工 壹伍壹零捌贰玖玖捌壹陆 zyy44138172@126.com [ Last edited by foxs2 on 2016-1-19 at 15:24 ] |
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wangjing1010
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58楼2012-11-14 10:13:24
ke30ke
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2楼2012-05-11 23:38:14
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3楼2012-05-11 23:40:34
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7楼2012-05-12 00:05:18
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9楼2012-05-12 00:32:35
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10楼2012-05-12 00:33:58



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