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笑园子金虫 (初入文坛)
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[求助]
钕铁硼表面镀TiN
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我是用磁控溅射在钕铁硼上镀氮化钛，真空度是5.6E-3,加热到300摄氏度，轰击功率是50W，时间30min，镀膜是先镀10minTi，在镀2小时氮化钛。但是照SEM后表面出现很多豆装突起和很多微裂纹。一般说磁控溅射镀膜，都是很光滑，在扫描下是一片黑色，难道是我上述的参数有问题，求大神指导，下面我会上传一些SEM图，求指教！！！！ 镀过膜的，求助！  这是没镀膜的，不过我抛过光，表面好多坑啊！！求助。 |
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2楼2013-02-26 16:13:01