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中科院微光刻与微纳米加工技术(超好的科研与学习资料)
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中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术研究室 陈宝钦 Micro-Lithography and Micro-nanofabrication Technologies 写在PPT前面的四十年感言: 虽然就这十一个字，我们整整干了四十年，既有一些比较漂亮的工作，也有不少刚刚涉足的领域，感谢大年中努力的成果及并能够和大家互相交流的机会。本报告会给我向各位同行们汇报一下我们和我们的学生们这些年的努力成果及能够和大家相互交流的机会.本报告的相应约八万的文字内容已作为基金委组织编写半导体科学展望一书的第九章，将由科学出版社出版。 当今世界各行各业都离不开信息科学, 信息科学离不开计算机技术 计算机技术的发展离不开微电子技术 微电子技术工艺基础是微光刻技术 微光刻技术一次又一次突破 把微细加工尺寸从微米级推分辨率极限,，使微电子技术得以创造了如此伟大的人间奇迹 细细回味： 几十年来微光刻技术把微细加工尺寸从微米级推探索领域进到纳米级，与在人类从宇宙太空到原子世界的整个研究相比,也只是微小的一段。 麻烦斑竹,将此贴改成资源贴,不然挺浪费的哦!有虫友这么要求的! [ Last edited by memser on 2009-1-13 at 23:38 ] |
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5楼2007-04-15 19:19:13