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zhangduoqing

铁虫 (初入文坛)

[求助] CVD

CVD法是什么方法?具体原理,作用是什么呢?

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木蟲至尊

荣誉版主 (文坛精英)

小元家族七弟!哇哈哈!

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖


wenjing120: 金币+1, 积极应助!欢迎常来科研版!感谢您的交流! 2012-04-26 10:58:18
CVD(Chemical Vapor Deposition, 化学气相沉积),指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备。经过CVD处理后,表面处理膜密着性约提高30%,防止高强力钢的弯曲,拉伸等成形时产生的刮痕。
当我们习惯了人之常情的去付出,对于得到的回报便觉得是一种额外的幸福!
3楼2012-04-26 08:31:36
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封神之神

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

化学气相沉积,具体可以参考baidu
2楼2012-04-25 21:54:42
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