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急求关于薄膜与涂层的问题
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| 分析影响薄膜/涂层密度、界面结合强度、残余应力、化学成分/相组成的因素，讨论提高薄膜/涂层密度和几面结合强度、降低残余应力、控制化学成分/相组成的措施。 |
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