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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)

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[交流] 薄膜问题

我用PLD法制备的铁电薄膜，请问，薄膜的厚度和衬底温度有什么关系？还有就是衬底的温度对薄膜哪些参数有影响？有怎么样的影响？求教高手，谢谢先

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1楼 2012-04-24 21:10:16

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zhameng07

铜虫 (初入文坛)

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★ ★
qqxiwuzhiren(金币+1): 谢谢参与
nofrunolif: 金币+1, 感谢回帖 2012-04-24 21:47:14

Ts影响晶粒的形态、空隙率和应力大小：沉底温度过低，晶粒间空隙大，自退火速率远远小于沉积速率，导致应力较大；温度再高，形成柱状晶粒，故衬底温度影响取向；温度再高就形成致密等轴晶了，膜体接近体材性质。拙见，权当抛砖引玉。

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2楼2012-04-24 21:32:12

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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by zhameng07 at 2012-04-24 21:32:12:
Ts影响晶粒的形态、空隙率和应力大小：沉底温度过低，晶粒间空隙大，自退火速率远远小于沉积速率，导致应力较大；温度再高，形成柱状晶粒，故衬底温度影响取向；温度再高就形成致密等轴晶了，膜体接近体材性质。拙 ...

谢谢啊

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3楼2012-04-25 12:45:51

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