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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)


[交流] 薄膜问题

我用PLD法制备的铁电薄膜,请问,薄膜的厚度和衬底温度有什么关系?还有就是衬底的温度对薄膜哪些参数有影响?有怎么样的影响?求教高手,谢谢先
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zhameng07

铜虫 (初入文坛)


★ ★
qqxiwuzhiren(金币+1): 谢谢参与
nofrunolif: 金币+1, 感谢回帖 2012-04-24 21:47:14
Ts影响晶粒的形态、空隙率和应力大小:沉底温度过低,晶粒间空隙大,自退火速率远远小于沉积速率,导致应力较大;温度再高,形成柱状晶粒,故衬底温度影响取向;温度再高就形成致密等轴晶了,膜体接近体材性质。拙见,权当抛砖引玉。
2楼2012-04-24 21:32:12
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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by zhameng07 at 2012-04-24 21:32:12:
Ts影响晶粒的形态、空隙率和应力大小:沉底温度过低,晶粒间空隙大,自退火速率远远小于沉积速率,导致应力较大;温度再高,形成柱状晶粒,故衬底温度影响取向;温度再高就形成致密等轴晶了,膜体接近体材性质。拙 ...

谢谢啊
3楼2012-04-25 12:45:51
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