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苍冥之鹰

金虫 (著名写手)

[求助] 请问各位,如何使聚苯乙烯在晶片上成膜?

本人想将聚苯乙烯涂在石英晶片上,我是先用THF溶解聚苯乙烯再滴在晶片上,再等THF挥发,可是成膜效果不是很好,有人知道是哪里有问题吗?有没有更好的办法使聚苯乙烯涂于晶片(形成的聚苯乙烯膜要很薄)?
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石头哈哈8

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by vmuch520 at 2012-04-23 20:53:16
成膜效果不是很好是怎么个不好法?
可以使用spin-coating的办法。
有几点需要注意:
1、浓度(5wt%以内)和转速合适(1500-3000rpm);厚度主要取决于浓度,转速影响较小;
2、选合适的溶剂,厚度还取决于溶剂 ...

请问您用旋涂法可以做到多大面积上单层无缺陷?谢谢
23楼2012-09-14 14:54:45
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石头哈哈8

木虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by vmuch520 at 2012-04-24 20:07:57
1、用离心机代替?怎么代替,旋转涂膜机上面是平的,离心机怎么实现的得了呢?做了个套子套在离心机中间的轴上这个难度比较大,很难保持平面,而且甩时要用真空泵吸住的。
2、溶剂问题,聚苯乙烯和甲苯二者溶度参 ...

您好,看到您这个帖子很好奇,您是选用旋涂做的PS单层膜吗?为什么我做的总是有多层和孔洞邓缺陷存在?
24楼2012-09-14 14:56:59
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石头哈哈8

木虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
25楼: Originally posted by vmuch520 at 2012-09-15 13:26:53
我没做过这个,但是如果基底处理的好、干净无比,并且和聚合物之间作用力较好,面积在2cm^2单层无缺陷应该没问题吧。...

但悬浮液的均匀性会不会影响,我一般选用超声来使其均匀,实际旋涂过程中不只存在衬底和聚合物的作用力,球之间的力、转速较大情况下的离心力等都会影响,所以我不知道哪里还可以改进,可有高见,还望指点一二,谢谢
27楼2012-09-16 19:16:59
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