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题目:多晶硅薄膜的铝诱导晶化法制备及其晶粒的择优取向特性;于威,郭亚平 Aluminum-induced crystallization and Grain preferred orientation characteristics of polysilicon thin flims;YU Wei,GUO Ya-ping 期刊:功能材料,2012第2期43卷, |
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