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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » PLD常温生长ITO的条件，经验？
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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[交流] PLD常温生长ITO的条件，经验？ 已有2人参与

PLD常温生长ITO的条件，经验？是否退火？温度时间？目前的薄膜不导电，悲催……恳请指教！
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善良
1楼 2012-04-19 16:22:21
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kevin123581

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
回复我上面的颜色问题：衬底温度不够导致的，温度继续上去，薄膜就越来越透明。不过到现在，还是看上去有点偏黄，虽然是透明的。
不晓得是温度不过还是怎么。
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8楼2016-02-22 15:14:43
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tt.yao

荣誉版主 (知名作家)

爱思考的小强

优秀区长优秀版主优秀版主
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不懂。帮顶。查文献啊。搞清楚回来自问自答有奖励哦。且印象深刻。
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行，成于思，毁于随！
2楼2012-04-19 22:27:44
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kevin123581

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
300摄氏度衬底温度， 10mTorr气压，0.5%氧浓度，在一篇论文上看到的。
我自己做的时候没加热，薄膜是黑色的镜面
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3楼2015-11-26 13:40:31
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
3楼: Originally posted by kevin123581 at 2015-11-26 13:40:31
300摄氏度衬底温度， 10mTorr气压，0.5%氧浓度，在一篇论文上看到的。
我自己做的时候没加热，薄膜是黑色的镜面

谢谢！黑色镜面，透明吗？
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善良
4楼2015-11-28 11:42:47
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