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wiseroy

木虫 (著名写手)

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[交流] PLD常温生长ITO的条件,经验? 已有2人参与

PLD常温生长ITO的条件,经验?是否退火?温度时间?目前的薄膜不导电,悲催……恳请指教!
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善良
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kevin123581

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
回复我上面的颜色问题:衬底温度不够导致的,温度继续上去,薄膜就越来越透明。不过到现在,还是看上去有点偏黄,虽然是透明的。
不晓得是温度不过还是怎么。
8楼2016-02-22 15:14:43
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tt.yao

荣誉版主 (知名作家)

爱思考的小强

优秀区长优秀版主优秀版主


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不懂。帮顶。查文献啊。搞清楚回来自问自答有奖励哦。且印象深刻。
行,成于思,毁于随!
2楼2012-04-19 22:27:44
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kevin123581

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
300摄氏度衬底温度, 10mTorr气压,0.5%氧浓度,在一篇论文上看到的。
我自己做的时候没加热,薄膜是黑色的镜面
3楼2015-11-26 13:40:31
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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引用回帖:
3楼: Originally posted by kevin123581 at 2015-11-26 13:40:31
300摄氏度衬底温度, 10mTorr气压,0.5%氧浓度,在一篇论文上看到的。
我自己做的时候没加热,薄膜是黑色的镜面

谢谢!黑色镜面,透明吗?
善良
4楼2015-11-28 11:42:47
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