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shijian327

银虫 (小有名气)

[求助] 激光脉冲沉积

对于做PLD,当用小激光调试光路时,若小激光已经聚焦在激光靶上,但激光光斑和样品托中心或者说基片不在同一平面上,那么正式溅射时,与在同一平面相比会不会影响靶材的沉积速率和镀膜的均匀程度?
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19881112

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


nofrunolif: 金币+1, 欢迎来功材版交流 2012-06-05 09:39:48
会影响均匀性吧,即使样品拖可以自转,我在试验中就遇到过这种情况,所以还是要尽量调到一条直线上
立誓成功,蔑视之。
3楼2012-05-30 11:57:09
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liulu008

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
shijian327: 金币+2, 有帮助 2012-04-18 18:09:24
速率有影响,但是均匀应该不会影响,样品托都可以自转。
2楼2012-04-18 15:26:10
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