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20071116153金虫 (小有名气)
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[求助]
PMMA揭膜问题
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各位大侠,我想在硅片上制备纳米厚的PMMA,并把膜揭下来,有以下问题 1.旋涂时的速度,时间 2.硅片在旋涂之前需要怎样处理,才能把膜接下来啊 3.固化时间和温度多少啊 还有就是我用OTS处理变成疏水的表面 旋涂PMMA怎么旋涂不上 是什么原因 我用的是百分之六的PMMA 急啊 大侠们 |
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