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20071116153

金虫 (小有名气)

[求助] PMMA揭膜问题

各位大侠,我想在硅片上制备纳米厚的PMMA,并把膜揭下来,有以下问题
1.旋涂时的速度,时间
2.硅片在旋涂之前需要怎样处理,才能把膜接下来啊
3.固化时间和温度多少啊
还有就是我用OTS处理变成疏水的表面  旋涂PMMA怎么旋涂不上  是什么原因  我用的是百分之六的PMMA
        急啊 大侠们
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