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PMMA揭膜问题
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20071116153
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金币: 1474
帖子: 98
在线: 41.2小时
虫号: 1450604
注册: 2011-10-19
性别: GG
专业: 凝聚态物性I:结构、力学和
[
求助
]
PMMA揭膜问题
各位大侠,我想在硅片上制备纳米厚的PMMA,并把膜揭下来,有以下问题
1.旋涂时的速度,时间
2.硅片在旋涂之前需要怎样处理,才能把膜接下来啊
3.固化时间和温度多少啊
还有就是我用OTS处理变成疏水的表面 旋涂PMMA怎么旋涂不上 是什么原因 我用的是百分之六的PMMA
急啊 大侠们
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1楼
2012-04-14 12:39:13
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