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beyondanycal银虫 (正式写手)
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[求助]
求助专家：关于双酚a 二缩水甘油醚
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我对硅基薄膜材料领域比较熟悉，对有机高分子领域很陌生。 帮朋友请教一个问题： Bisphenol_A_Diglycidyl_Ether（双酚a 二缩水甘油醚 ？？） 对于以上述高分子材料为基础的树脂材料，希望对其进行干法（等离子体刻蚀）或者湿法刻蚀，请问这种材料应该采用哪种气体，或者试剂？ 请大家不吝赐教！如果可以的话，能给一些参考文献就更好了。 感谢大家! |
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感谢参与，应助指数 +1
beyondanycal: 金币+5, ★★★很有帮助, 搜了一下环氧树脂，得到一些启发，感谢！ 2012-04-12 23:28:26
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3楼2012-04-12 16:00:52
beyondanycal
银虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体材料
2楼2012-04-12 12:26:08
4楼2014-02-11 10:07:27