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icwafer

金虫 (正式写手)

[交流] SEM图问题,请帮忙!

在玻璃衬底上溅射镀膜,把一块镀膜的玻璃片分成两个部分,然后进行光刻;
丙酮去胶完后做了sem,但是剩下的薄膜颜色刚好反过来(一个是黑,一个是白),请看图片!
PS:做sem的时候玻璃没有放反,否则是做不出sem图形的。

请问是什么原因,否则别人会认为我的实验做错了。

[ Last edited by icwafer on 2007-3-29 at 09:36 ]
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temedx

专家顾问 (著名写手)

光刻是去掉什么呢?具体的操作过程如何?
会不会两块玻璃的方向是相反的?
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
5楼2007-03-29 09:10:46
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zhangwengui330

荣誉版主 (职业作家)

优秀版主

是不是面放反了
一个是正放的(上面的是)
另外一个放反了
2楼2007-03-28 22:23:17
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fushiji

把其中一片颠倒一下,试试看!
4楼2007-03-29 08:10:01
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temedx

专家顾问 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by taochn at 2007-3-28 23:08:
PS一下吧!

开玩笑可以,但千万别干这种蠢事。有机所林国强的手下就是例子。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
6楼2007-03-29 09:13:52
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