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cometring木虫 (著名写手)
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[交流]
【有奖交流】请教大家关于HRTEM自身带的EDX的一些问题
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请问用HRTEM(场发射高分辨电镜)自身带的EDX(或者叫做EDS)测试的微区内的金属含量的准确度有多高?可靠吗? 如果能举出相关文献或者相关网页书籍,将有更多奖励!谢谢大家关注。 [ Last edited by daiqiguang on 2007-5-9 at 18:20 ] |
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纳米材料表征技术 | 仪器测试 |
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2楼2007-03-26 21:48:05
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cometring(金币+10):谢谢帮忙!!
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因为TEM-EDS的定量计算为无标样定量,所以具体精度不是很确准。 虽然无标样定量分析方法现在无国家标准,但在不平试样、粉体试样及要求不高的一般分析研究中,应用还比较广泛,现在正在考虑制定“EDS无标样定量分析方法”国家标准。无标样定量是通过数据库、理论计算进行定量。 上海中科院硅酸盐所的李香庭老师给出过SEM-EDS的分析标准: “电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”国家标准,规定了EDS的定量分析的允许误差(不包括含超轻元素的试样)。对平坦的无水、致密、稳定和导电良好的试样,定量分析总量误差小于3%。 主元素(20%wt)允许的相对误差 5%。 3%wt 含量 20%wt的元素,允许的相对误差 10%。 1%wt 含量 3%wt的元素,允许的相对误差 30%。 0.5%wt 含量 1%wt的元素,允许的相对误差 50%。 另外,特别注意:对于不平坦试样,可用三点分析结果的的平均值表示,或在总量误差小于等于5%的情况下,如确认没有漏测元素时,允许使用归一化值作为定量分析结果。偏差大于5%,只能作为半定量结果处理。 我看你想要的是一个ref,要不就引“GB/T 18735-2002 分析电镜(AEM/EDS)纳米薄标样通用规范(TEM) ”这个标准,不过我手头没有。 |

5楼2007-03-27 09:18:53
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