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[交流]
【有奖交流】请教大家关于HRTEM自身带的EDX的一些问题
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请问用HRTEM（场发射高分辨电镜）自身带的EDX(或者叫做EDS)测试的微区内的金属含量的准确度有多高？可靠吗？ 如果能举出相关文献或者相关网页书籍，将有更多奖励！谢谢大家关注。 [ Last edited by daiqiguang on 2007-5-9 at 18:20 ] |
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 纳米材料表征技术 | 仪器测试 |
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cometring(金币+10):谢谢帮忙！！
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因为TEM－EDS的定量计算为无标样定量，所以具体精度不是很确准。 虽然无标样定量分析方法现在无国家标准，但在不平试样、粉体试样及要求不高的一般分析研究中，应用还比较广泛,现在正在考虑制定“EDS无标样定量分析方法”国家标准。无标样定量是通过数据库、理论计算进行定量。 上海中科院硅酸盐所的李香庭老师给出过SEM－EDS的分析标准： “电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”国家标准，规定了EDS的定量分析的允许误差（不包括含超轻元素的试样）。对平坦的无水、致密、稳定和导电良好的试样，定量分析总量误差小于3％。 主元素(20%wt)允许的相对误差 5％。 3%wt 含量 20%wt的元素，允许的相对误差 10％。 1%wt 含量 3%wt的元素，允许的相对误差 30％。 0.5%wt 含量 1%wt的元素，允许的相对误差 50％。 另外，特别注意：对于不平坦试样，可用三点分析结果的的平均值表示，或在总量误差小于等于5％的情况下，如确认没有漏测元素时，允许使用归一化值作为定量分析结果。偏差大于5％，只能作为半定量结果处理。 我看你想要的是一个ref，要不就引“GB/T 18735-2002 分析电镜（AEM/EDS）纳米薄标样通用规范(TEM) ”这个标准，不过我手头没有。 |
5楼2007-03-27 09:18:53
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