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roy0551

金虫 (小有名气)

[求助] 求教,用RF-PECVD做石墨烯

做了几次RF—PECVD,没有结果。用镍铜做催化剂。求教。
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PECVD制备石墨烯

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平平淡淡,出其不意
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永远的泳叶

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by dingerxiong at 2013-04-03 09:48:36
温度不够吧,得500度左右,还有射频能量200W左右,甲烷的含量

您好,请问您用RF-pecvd制出石墨烯了吗?

发自小木虫Android客户端
9楼2017-05-19 14:03:59
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javas2010

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
欢迎把实验条件,气源,仪器写出来,有利于别人应助。
含泪播种的人一定能含笑收获!
2楼2012-04-01 20:22:31
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coronafu

禁虫 (正式写手)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

3楼2012-04-02 11:38:24
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roy0551

金虫 (小有名气)

温度250,压强1torr,PVD镀铝镍与玻璃上,在玻璃上生长石墨烯。工艺气体有甲烷,氢气和Ar。
平平淡淡,出其不意
4楼2012-04-05 16:43:04
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