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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 碳复合 » 求教，用RF-PECVD做石墨烯
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roy0551

金虫 (小有名气)

[求助] 求教，用RF-PECVD做石墨烯

做了几次RF—PECVD，没有结果。用镍铜做催化剂。求教。
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平平淡淡，出其不意
1楼2012-04-01 15:07:52
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dingerxiong

铜虫 (初入文坛)
温度不够吧，得500度左右，还有射频能量200W左右，甲烷的含量
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小叮当
7楼2013-04-03 09:48:36
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javas2010

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
欢迎把实验条件，气源，仪器写出来，有利于别人应助。
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含泪播种的人一定能含笑收获！
2楼2012-04-01 20:22:31
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coronafu

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
3楼2012-04-02 11:38:24
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roy0551

金虫 (小有名气)
温度250，压强1torr，PVD镀铝镍与玻璃上，在玻璃上生长石墨烯。工艺气体有甲烷，氢气和Ar。
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平平淡淡，出其不意
4楼2012-04-05 16:43:04
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