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jttk

新虫 (小有名气)

[求助] 如何测试电沉积ZnO的电学性能

在ITO玻璃上电沉积的ZnO薄膜,怎么测量他的电学特性,如果是测的整体的电学性能,能通过计算来去点衬底的影响吗
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man183

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
先需要估计氧化锌薄膜的大致电阻,以便选择合适量程的仪表。
但薄膜与仪表的电学接触,可以使用光刻等技术做好电极接触。不能像测试常规电阻的大信号测量方法,如直接将两个电极按在被测物体上。
2楼2012-03-31 10:39:06
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jttk

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by man183 at 2012-03-31 10:39:06:
先需要估计氧化锌薄膜的大致电阻,以便选择合适量程的仪表。
但薄膜与仪表的电学接触,可以使用光刻等技术做好电极接触。不能像测试常规电阻的大信号测量方法,如直接将两个电极按在被测物体上。

衬底是一层导电膜,这样会有影响吧
3楼2012-04-01 09:39:27
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